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水泵

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分子真空泵之渦輪分子泵

分子真空泵之渦輪分子泵

[來源:未知]??? [作者白云泵業]??? [日期:2018-05-10 09:05]??? [熱度:]

  渦輪分子泵區別于牽引分子泵,它是以高速旋轉的動葉片與靜止的靜葉片相互配合來實現抽氣的:

渦輪分子泵結構原理

  如上圖所示,渦輪分子泵由多級葉列組成,轉子與定子按次序交替排列。葉列的級數與壓縮比有關;葉片的形狀會同時影響抽速與壓縮比,入口抽速大壓縮比小,接近出口則相反。分子泵工作時吸入壓力大多在1Pa以下,此時分子流狀態下,分子間的平均自由行程大,與高速旋轉的葉片之間的碰撞幾率遠高于分子之間的碰撞。因此高速旋轉的葉片會使氣體在外摩擦作用下,形成定向運動流向出口,產生抽氣效果,轉速越高,對抽速越有利。

  隨著軸承技術、數控技術的發展,空氣軸承、磁懸浮軸承等的應用,渦輪分子泵很好地解決了油污染的問題,目前工作范圍可以從1Pa到10^-9Pa,抽速則從50L/S發展到了25000L/S,甚至到達了40000L/S。

  與牽引分子泵相比,渦輪分子泵在分子流狀態下抽速優勢明細,但同時它在過渡流及黏滯流狀態下抽速會很小,對前級泵的要求較高。而牽引分子泵的壓縮比與抽氣槽形有關,提升簡單,因此就出現了結合兩種分子泵有點的復合分子泵。干式螺桿真空泵廠家在下一篇中繼續為大家介紹。

關鍵字:分子真空泵,渦輪分子泵,分子泵
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